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ガス混合装置

ガス混合装置

堀場エステック社製マスフローコントローラーを14台(7種2系統)用意しています。

写真右から
接続ガスライン 校正ガス種 流量(ccm)
N2 N2 A:10〜500
B:10〜500
He He A:10〜500
B:10〜500
支燃A O2 A: 4〜200
B: 2〜100
支燃B NO A: 2〜100
B: 2〜100
可燃A H2 A: 2〜100
B: 4〜200
可燃B CO A: 2〜100
B: 2〜100
可燃S H2S A: 2〜100
B: 2〜100
 ※HeとN2は流量が2〜100ccmのMFCもあります。

接続:Swagelokチューブ継手 1/8"

※それぞれ記載のガスと異なるガスを流す場合は以下のコンバージョンファクターにより計算して下さい。

各気体のコンバージョンファクター(N2=1.00)

  C.F.   C.F.
窒素(N2) 1.00 メタン(CH4) 0.74
ヘリウム(He) 1.40 エタン(C2H6) 0.51
アルゴン(Ar) 1.40 エチレン(C2H4) 0.64
水素(H2) 1.00 プロパン(C3H8) 0.34
酸素(O2) 0.99 プロピレン(C3H8) 0.40
一酸化炭素(CO) 1.00 ブタン(C4H10) 0.32
二酸化炭素(CO2) 0.74 空気 1.00
一酸化窒素 0.99 硫化水素 0.75


流量設定の計算例

Heで校正されているマスフローコントローラーを使って、N2を50ccm流したい場合、
マスフローコントローラーをいくつに設定すれば良いか?