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表面・薄膜構造分析の最先端技術
テキスト 題目 PDF file 作成者
薄膜に対する高輝度放射光を用いたXAFS測定法 103KB 宇留賀 朋哉 (JASRI)
放射光X線光電子分光法の紹介とpoly-Si/HfAlO界面およびpoly-Si/HfSiON界面の反応解析への適用 624KB 池永 英司 (JASRI)
X線反射率法の基礎と応用 514KB 松野 信也 (旭化成(株))
放射光を用いた微小角入射X線散乱による非晶質薄膜の構造解析 331KB 佐藤 眞直 (JASRI)
反射X線小角散乱法による薄膜中の粒子・空孔径評価 866KB 伊藤 義泰 ((株)リガク)

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