SPECコマンドリスト(BL19B2）

TCスリット制御コマンド

TCスリット

制御パラメータ		動作	コマンド	パラメータ <(a)：絶対値　(r)：相対値>
TCスリット1	全パラメータ	現在値の取得	gettcs1	なし
	Width	現在値の取得	gettcs1w	なし
		変更(絶対値）	tcs1w	[開口巾(mm)　(a)]
	Heigth	現在値の取得	gettcs1h	なし
		変更(絶対値）	tcs1h	[開口巾(mm)　(a)]
	Horizontal （開口センター 水平位置)	現在値の取得	gettcs1hor	なし
		変更(絶対値）	mv_tcs1hor	[位置(mm)　(a)]
		変更(相対値）	mvr_tcs1hor	[位置(mm)　(a)]
		スキャン （絶対値)	ascan_tcs1hor	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
		スキャン （相対値)	dscan_tcs1hor	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
	Vertical (開口センター 垂直位置)	現在値の取得	gettcs1ver	なし
		変更(絶対値）	mv_tcs1ver	[位置(mm)　(a)]
		変更(相対値）	mvr_tcs1ver	[位置(mm)　(a)]
		スキャン （絶対値)	ascan_tcs1ver	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
		スキャン （相対値)	dscan_tcs1ver	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
TCスリット2	全パラメータ	現在値の取得	gettcs2	なし
	Width	現在値の取得	gettcs2w	なし
		変更(絶対値）	tcs2w	[開口巾(mm)　(a)]
	Heigth	現在値の取得	gettcs2h	なし
		変更(絶対値）	tcs2h	[開口巾(mm)　(a)]
	Horizontal （開口センター 水平位置)	現在値の取得	gettcs2hor	なし
		変更(絶対値）	mv_tcs2hor	[位置(mm)　(a)]
		変更(相対値）	mvr_tcs2hor	[位置(mm)　(a)]
		スキャン （絶対値)	ascan_tcs2hor	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
		スキャン （相対値)	dscan_tcs2hor	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
	Vertical (開口センター 垂直位置)	現在値の取得	gettcs2ver	なし
		変更(絶対値）	mv_tcs2ver	[位置(mm)　(a)]
		変更(相対値）	mvr_tcs2ver	[位置(mm)　(a)]
		スキャン （絶対値)	ascan_tcs2ver	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]
		スキャン （相対値)	dscan_tcs2ver	[start(mm)　(a)]　[end(mm)　(a)] [分割数]　[カウント時間]

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