SPECコマンドリスト(BL19B2）

a. 装置状態の表示 （光学ハッチ、スリット、回折計本体、カレントアンプ、リング状態）

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装置 の状態の表示　


装置の全パラメータのリストアップ

　

動作		コマンド
全status表示		allstat
回折計主要8軸の表示	user値のみ	wua
	user値、dial値	waa
試料ステージの表示　詳細		was
全スリットの状態表示		sltstat
全カレントアンプの状態表示		campstat
光学ハッチ全status表示		optstat

b. 基本動作 （軸位置表示､移動､スキャン、カウント）

軸の制御

動作	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
移動　(絶対値)	mv	[軸名]　[位置　(a)]
移動　(相対値)	mvr	[軸名]　[移動距離　(ｒ)]
スキャン (1軸/絶対値）	ascan	[軸名]　[start(a)]　[end(a)]　[測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (1軸/相対値）	dscan	[軸名]　[start(a)]　[end(a)]　[測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (2軸/絶対値）	a2scan	[軸名１]　[start1(a)]　[end1(a)]　[軸名2]　[start2(a)]　[end2(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (2軸/相対値）	d2scan	[軸名１]　[start1(r)]　[end1(r)]　[軸名2]　[start2(r)]　[end2(r)] [測定点分割数] [カウント時間]
現在位置表示 （全軸/user値、dial値)	wa	なし
現在位置表示 （全軸/user値のみ）	wu	なし
現在位置表示 （１軸/user値のみ）	wp	[軸名]

検出器の制御

動作	コマンド	パラメータ
カウント	ct	[カウント時間]

c. スリット制御

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回折 計スリットの制御


入射側スリット(s1)

動作	制御パラメータ	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
現在値の取得	全パラメータ	gets1	なし
変更	横幅	s1w	[開口巾(mm)　(a)]
	縦幅	s1h	[開口巾(mm)　(a)]
移動 (絶対値)	水平センター位置	mv_s1hor	[位置(mm)　(a)]
	垂直センター位置	mv_s1ver	[位置(mm)　(a)]
移動 (相対値)	水平センター位置	mvr_s1hor	[位置(mm)　(r)]
	垂直センター位置	mvr_s1ver	[位置(mm)　(r)]
スキャン (絶対値)	水平センター位置	ascan_s1hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	ascan_s1ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (相対値)	水平センター位置	dscan_s1hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	dscan_s1ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]

受光側スリット(前)　(s2)

動作	制御パラメータ	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
現在値の取得	全パラメータ	gets2	なし
変更	横幅	s2w	[開口巾(mm)　(a)]
	縦幅	s2h	[開口巾(mm)　(a)]
移動 (絶対値)	水平センター位置	mv_s2hor	[位置(mm)　(a)]
	垂直センター位置	mv_s2ver	[位置(mm)　(a)]
移動 (相対値)	水平センター位置	mvr_s2hor	[位置(mm)　(r)]
	垂直センター位置	mvr_s2ver	[位置(mm)　(r)]
スキャン (絶対値)	水平センター位置	ascan_s2hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	ascan_s2ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (相対値)	水平センター位置	dscan_s2hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	dscan_s2ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]

受光側スリット(後）　(s3)

動作	制御パラメータ	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
現在値の取得	全パラメータ	gets3	なし
変更	横幅	s3w	[開口巾(mm)　(a)]
	縦幅	s3h	[開口巾(mm)　(a)]
移動 (絶対値)	水平センター位置	mv_s3hor	[位置(mm)　(a)]
	垂直センター位置	mv_s3ver	[位置(mm)　(a)]
移動 (相対値)	水平センター位置	mvr_s3hor	[位置(mm)　(r)]
	垂直センター位置	mvr_s3ver	[位置(mm)　(r)]
スキャン (絶対値)	水平センター位置	ascan_s3hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	ascan_s31ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
スキャン (相対値)	水平センター位置	dscan_s3hor	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]
	垂直センター位置	dscan_s3ver	[start(mm)(a)]　[end(mm)(a)] [測定点分割数] [カウント時間]

ダブルスリット　(s2,s3連動)

動作	制御パラメータ	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
変更	横幅	dsw	[開口巾(mm)　(a)]
	縦幅	dsh	[開口巾(mm)　(a)]

d. 各軸設定 （位置情報リセット､リミット設定）

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各軸設定

動作	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
現在位置のuser値のリセット	set	[軸名]　[値　(a)]
現在位置のdial値のリセット	set_dial	[軸名]　[値　(ｒ)]
各軸のソフトリミットの設定	set_lm	[軸名]　[lowerlimit(a)]　[upper limit(a)]
各軸のソフトリミットの表示	lml	[軸名]

e. スキャン結果グラフ表示設定

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スキャン結果グラフ表示設定

動作	コマンド	パラメータ
グラフに表示するカウンターの変更	chg_pld	[カウンター名(mne)：i0／det／i1]
現在グラフに表示しているカウンターの表示	get_pld	なし
plot環境の設定	setplot	対話型　(表示される指示に従って設定）

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