SPECコマンドリスト(BL19B2）

周辺機器制御コマンド

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周辺機器制御

試料ステージ（wasコマンド表示の設定）

ステージ	動作	コマンド	概要・注意事項
xyステージ （xs、ys軸)	ON	xy_on	ONにするとそのステージの軸が wasコマンドで表示される。
	OFF	xy_off
自動スイベル （ｒｘs、ｒｙs軸)	ON	tlt_on
	OFF	tlt_off

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