SPECコマンドリスト(BL19B2）

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応力測定用コマンド　(中断：Ctrl-c)

＊注意点：
１．θ軸を使った揺動を行うときはモーターの冷却が必要なので担当者に必ず相談すること
２．カウント時間はm×10ⁿ　m=１～９、n=-1～9

揺動付sin²ψ法

動作	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
並傾法： ω揺動付	rsthf_p	[ψ角]　[2θstart　(a)]　[2θend　(a)]　[測定点分割数] [揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[θのオフセット角(試料セッティングによる)]
並傾法： φ揺動付	rsphif_p	[ψ角]　[2θstart　(a)]　[2θend　(a)]　[測定点分割数] [揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[θのオフセット角(試料セッティングによる)]
側傾法： ω揺動付	rsthf_s	[ψ角]　[2θstart　(a)]　[2θend　(a)]　[測定点分割数] [揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[θのオフセット角(試料セッティングによる)]
側傾法： φ揺動付	rsphif_s	[ψ角]　[2θstart　(a)]　[2θend　(a)]　[測定点分割数] [揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[θのオフセット角(試料セッティングによる)]

侵入深さ一定法

＊使い方：
１．侵入深さの設定の仕方

侵入深さ ratio＝侵入深さの設定値 / 最大侵入深さ
（正反射時の侵入深さが最大)
０＜ratio＜１

2．試料傾斜方向の設定

傾斜方向：入射角小、出射角大の時＝－１　/　入射角大、出射角小の時 = １

2．面内方向制御について：試料のセットの仕方

org_phiコマンドで面内原点をφ=0にしているとき:
回折計をθ=0、χ=90、φ＝０の状態にして試料をセッティングする際に、測定したい歪の向きをビームに対し水平面内で垂直にセットする。

面内方向制御：原点の変更	現在の原点の表示	p_org_phi	なし
動作		コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
侵入深さ一定法		cpd_scan	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)][sin2ψ値] [侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[カウント時間]　[傾斜方向]
侵入深さ一定法： φ揺動付		cpd_fscan	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)]　[sin2ψ値] [侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[傾斜方向]
侵入深さ一定法：面内方向制御付		ocpd_scan	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)]　[sin2ψ値] [侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[カウント時間]　[傾斜方向]
侵入深さ一定法：面内方向制御 φ遥動付		ocpd_fscan	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)]　[sin2ψ値] [侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[揺動角（±?°)]　[揺動回数]　[傾斜方向]
面内方向制御：原点の変更	原点の変更	org_phi	[φの原点位置]／（パラメータを与えないとき）：現在位置を原点としてセットする

侵入深さ一定法シュミレーション

動作	コマンド	パラメータ　＜(a)：絶対値　(r)：相対値＞
侵入深さ一定法のシュミレーション	cpd_scan_cal	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)][sin2ψ値]　[侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[傾斜方向]
侵入深さ一定法：面内方向制御付のシュミレーション	ocpd_scan_cal	[2θscan範囲の中心値　(a)]　[2θscan範囲（±?°)][sin2ψ値]　[侵入深さratio] 　[測定点分割数]　[傾斜方向]

ちょっと便利なコマンド

IPカメラの制御　(中断：Ctrl-c)

＊注意点：
１．時間はm×10ⁿ　m=１～９、n=-1～9
２．Ctrl-cで中断してもシャッターは閉まりません。注意！

標準

経時変化測定

動作	コマンド	パラメータ
IPの移動速度の設定	ipc_set	[移動スピード（mm/sec)]
IPの移動スピードの表示	get_ipc	なし
IPを移動させながら露光	ipcam_t	[total露光時間(sec)]　[時間vs移動位置サンプリング（sec）]

動作コマンドパラメータ

反射率測定 refscan [開始角度]　[終了角度]　[分割数]　[積算時間]

動作コマンドパラメータ

ロッキング測定 rockscan [開始角度]　[終了角度]　[分割数]　[積算時間]